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全自動(dòng)ACCRETECH東京精密紅外激光切割機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

全自動(dòng) ML3200 ACCRETECH東京精密紅外激光切割機(jī)
全自動(dòng)ACCRETECH東京精密紅外激光切割機(jī)
該設(shè)備配備紅外激光引擎,將激光束聚焦于硅片內(nèi)部,形成激光加工區(qū)域,并在擴(kuò)展過(guò)程中將硅片分割成芯片。
裝載機(jī)的規(guī)格可根據(jù)客戶(hù)使用的加工工藝進(jìn)行選擇。

產(chǎn)品型號(hào):ML3200
更新時(shí)間:2025-05-09
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:43
詳細(xì)介紹
品牌ACCRETECH/東京精密價(jià)格區(qū)間面議
儀器種類(lèi)精密切割機(jī)產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合

全自動(dòng)ACCRETECH東京精密紅外激光切割機(jī)

全自動(dòng)ACCRETECH東京精密紅外激光切割機(jī)

可進(jìn)行非接觸式切割,且不會(huì)損傷硅晶圓表面。
支持干式工藝,非常適合處理MEMS器件等不耐加工負(fù)荷和水分的器件。
通過(guò)根據(jù)硅晶圓厚度調(diào)整加工掃描次數(shù),可支持從薄到厚的廣泛厚度范圍。

通過(guò)提高成品率大幅降低成本
縮小劃線寬度有助于大幅提高成品率并降低成本。
以晶圓尺寸為φ200mm、芯片尺寸為1.0mm的小型芯片器件為例,通過(guò)將劃線寬度從90μm設(shè)計(jì)為20μm,芯片成品率可提高20%以上。

提高生產(chǎn)效率(吞吐量)
采用高剛性平臺(tái),通過(guò)高輸出激光組合,可實(shí)現(xiàn)800mm/秒以上的高速切割。

豐富的可選設(shè)置
與處理質(zhì)量和生產(chǎn)率相關(guān)的可選功能種類(lèi)繁多,例如設(shè)備內(nèi)部清潔(100 級(jí))規(guī)格和晶圓厚度測(cè)量功能。

干式工藝非常適合切割不耐水的MEMS器件等。
通過(guò)縮小切割道寬度,可以提高成品率,從而降低成本。

以存儲(chǔ)器件為代表的超薄切割領(lǐng)域取得了眾多業(yè)績(jī),
可實(shí)現(xiàn)低損傷、高彎曲強(qiáng)度、高速切割。

最大晶圓尺寸φ300毫米
處理方法

晶圓處理

X軸發(fā)送速度輸入范圍

0.1至2,100毫米/秒

Y軸解決0.0002 毫米
定位精度

0.002mm/310mm以?xún)?nèi)

規(guī)格尺寸(寬 x 深 x 高) 1,712 毫米 × 2,960 毫米 × 1,800 毫米
重量3,000公斤



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